产品:8
联系我们
真空下工作的机器人——安川机器人
真空机器人是机器人在真空环境下工作，主要用于在半导体工业中，为了实现晶片在真空室中传送。真空机器人难以进口，限制的大，通用性的量，其作为一个约束，以在整个半导体设备，机器关键部件的发展和竞争力的进展。中国和国外采购商严格审查，归属于禁运目录，真空机器人已成为严重制约了半导体设备，机器设备制造在中国“卡脖子”问题。直接驱动真空机器人技术是原始创新技术。
关键技术包括：
(1)真空机器人结构设计新技术: 通过结构分析和优化设计，避开国际**，设计新的结构，以满足真空机器人刚度和膨胀率的要求;
（2）大间隙真空直驱电机技术涉及理论分析、结构设计、制造工艺、表面处理、低速大转矩控制、小多轴驱动等方面的多轴的精密真空下轴系。
（3）设计。在该轴的轴线的设计方法，减少的惯性轴和不对称的问题之间的未对准。
（3）设计。在该轴的轴线的设计方法，减少的惯性轴和不对称的问题之间的未对准。
(4)动态轨迹校正技术: 通过融合传感器信息和机器人运动信息，检测晶圆与手指之间的基准位置偏移，动态校正运动轨迹，保证晶圆在真空室中从一个工位**地转移到另一个工位。
（5）根据SEMI标准的真空机器人语言：根据真空机器人处理要求、机器人操作特性和SEMI标准，完成真空机器人的特殊语言。
（6）可靠性系统工程：在IC制造设备出现故障将会带来巨大的损失。高需求MCBF，各个部件的可靠性的半导体器件进行测试，评估和控制，改善的机械手的各个部件的可靠性，以确保机器人相遇的IC制造的高要求。
详情点击——安川机器人
- 下一篇：中国工业机器人现状分析——安川机器人
- 上一篇：以制造业需求打通创新——安川机器人